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全自動晶圓接觸角測量儀對半導體晶圓的應用

  全自動晶圓接觸角測量儀專為晶圓客戶量身打造的一套接觸角檢測設備，樣品臺專為晶圓設計，可適應6-12寸的晶圓，具備四向對中功能。矩陣型多點測試，測試精準簡單方便。自動定位-滴液-接液-自動測量-自動換位。一次測試點位多達50+個，可在原圖上直接顯示數(shù)據(jù)并保存。測試結果可直接保存在陣列圖上。

全自動晶圓接觸角測量儀應用：

1、液體在固體表面的接觸角和潤濕性：包括靜態(tài)接觸角，動態(tài)接觸角(前進/后退接觸角)，接觸角滯后性等；

2、液滴在固體表面的起始滑動角(或滾動角)，滑動速度；(擴張功能)

3、液體在固體表面的鋪展、滲透/吸收等潤濕行為；

4、固體表面自由能(surface free energy)，及其各種分子相互作用力(如極性/非極性)的貢獻；

5、液體在固體表面的粘結力(adhesion)、滯留力(retention)等；

6、固體表面在經(jīng)過清洗、處理后的結果(效果)評估：如潔凈度(cleanliness)，均勻性(homogeneity)，和表面能改變幅度等；

7、液/流-體系的表面/界面張力：包括靜、動態(tài)表/界面張力的測量；

8、表/界面張力以及表面活性成分含量的現(xiàn)場、在線、實時監(jiān)測；

9、表面活性物質(如表面活性劑)臨界膠團溶度(CMC)的測量：包括全自動CMC測量，全自動有關配方的篩選和優(yōu)化；

10、表面活性物質在界面的吸附、排列、取向、松弛等現(xiàn)象的研究；

11、液體界面的粘彈性和穩(wěn)定性：如乳狀液／泡沫等體系的穩(wěn)定性研究等等各種與液/流/固-體系相關的界面現(xiàn)象和過程的測量和分析等。

  因為半導體晶圓生產(chǎn)要求品質是非常高的，晶圓表面上的任何瑕疵污漬都會造成芯片的損失，所以需要用接觸角測量儀檢測晶圓表面潤濕性等來判斷晶圓表面是否達標。而全自動晶圓接觸角測量儀是專門測量晶圓材料表面的鋪展、滲透、吸收等潤濕行為，測量靜、動態(tài)接觸角、測量分析固體的表面自由能、液體的界面和表面張力、全自動注射系統(tǒng)、前進后退角、滾動滑落角等全面功能。